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管式擴散氧化退火爐

設備名稱 Equipment name

管式擴散氧化退火爐  DOA Equipment

設備型號 Equipment Model

DOA-320

設備用途 Equipment Application

主要用于晶體硅太陽能電池制造中硅片的摻雜形成PN結。
The equipment is mainly used for doping and form PN junctions of silicon wafers in the manufacturing process of crystalline silicon solar cells.

工藝流程 Process Flow

石英舟及硅片準備→插片→上料→選擇工藝運行→進舟→抽真空→升溫穩定→通氧→通源→推進→恒溫→出舟→下舟冷卻→測試→卸片    
Prepare quartz boat & wafers→ Insertwafers→Loading wafers→ Choose recipe → Boat loading→ Vacuumize→ Temperature rising→Oxygen inlet→pocl3 inlet→ Push in→Diffusion treatment→ Boat unloading→ Cooling→ Testing→ Wafer unloading      

技術特點  Features 

1. MES控制功能。
MES control function.

2. 低壓擴散功能。
Low pressure diffusion.

3. 防撞舟技術。
Boat anti-collision function.

4. 源壓穩定技術。
Pressure stabilization of the gas source.

5. 作適應性變更,可兼容硼擴散工藝技術。
Available for adaptation changes,can be compatible with Boron diffusion technology.

6. 高方阻技術解決方案。
High sheet resistance technical solution.

7. 自動裝卸舟。
Automatic boat loading/unloading.

8. 具備側出舟功能。
With BBI function.

9. 智能化控制。
Intelligent control.

10. 匹配S.C智能化生產管理系統。
Match with S.C smart factory solution.

 

設備參數  Parameters



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